|
| 22.333 | | В14 | Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование [Текст] : [монография] / И.И. Аксенов, А.А. Андреев, В.А. Белоус и др.; под ред. И.И. Аксенова. — Киев : Наукова думка, 2012. — 726 с. — (Проект "Наукова книга"). | |
| | ISBN 966-00-1134-2 | |
|
